【摘要】本實用新型涉及一種晶體硅硅片擴(kuò)散爐,包括:石英管腔體,其兩端設(shè)置有載入、載出端開口,并具有氣幕簾和機(jī)械端蓋。石英管腔體載入端設(shè)置有驅(qū)動載入碳化硅槳葉的載入傳動機(jī)構(gòu)。載入碳化硅槳葉上放置有裝載待擴(kuò)散處理晶體硅片的石英舟。在石英管腔體內(nèi)
【摘要】 1.請求保護(hù)的外觀設(shè)計包含有色彩。 2.本外觀設(shè)計產(chǎn)品為平面產(chǎn)品,省略其他視圖。 數(shù)據(jù)由馬 克 數(shù) 據(jù)整理 【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海聯(lián)樂實業(yè)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201112上海市閔行區(qū)聯(lián)星路281號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630033546.3 【申請日】2006-01-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3601278D 【公開公告日】2007-01-24 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3601278D 【授權(quán)公告日】2007-01-24 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】趙茂祥 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海聯(lián)樂實業(yè)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)聯(lián)星路281號 【專利權(quán)人類型】其他有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310112133374145M
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載:http://m.sg012.cn/1775544215.html
喜歡就贊一下






