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晶體硅硅片擴散爐

時間:2026-04-07    作者:admin 點擊: ( 3 ) 次

【摘要】 本實用新型涉及一種晶體硅硅片擴散爐,包括:石英管腔體,其兩端設(shè)置有載入、載出端開口,并具有氣幕簾和機械端蓋。石英管腔體載入端設(shè)置有驅(qū)動載入碳化硅槳葉的載入傳動機構(gòu)。載入碳化硅槳葉上放置有裝載待擴散處理晶體硅片的石英舟。在石英管腔體內(nèi),載入碳化硅槳葉將石英舟放置在與之交錯設(shè)置的載出碳化硅槳葉上。載出碳化硅槳葉由石英管腔體載出端的載出傳動機構(gòu)驅(qū)動。晶體硅片經(jīng)擴散處理后,載出碳化硅槳葉從石英管腔體的另一端載出石英舟。從而構(gòu)成一種雙向裝、卸晶體硅片的石英管式擴散爐,其硅片的載入和載出可同時、同方向完成,達到了結(jié)構(gòu)簡單、提高效率,降低成本等有益效果。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海太陽能科技有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201108上海市莘莊工業(yè)區(qū)申南路555號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620042768.6 【申請日】2006-06-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200964448Y 【公開公告日】2007-10-24 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200964448Y 【授權(quán)公告日】2007-10-24 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】C30B31/00 【發(fā)明人】袁曉; 李紅波; 吳庭谷 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種晶體硅硅片擴散爐,包括:石英管腔體、氣幕簾和機械端蓋、 電阻式加熱外套、碳化硅槳葉、石英舟、氣體管道、擴散源和控制系統(tǒng), 其特征在于:所述的石英管腔體兩端設(shè)置有載入和載出端開口,兩端開口 處分別設(shè)置有氣幕簾和機械端蓋;所述的碳化硅槳葉包括載入碳化硅槳葉 和載出碳化硅槳葉;載入碳化硅槳葉與載出碳化硅槳葉在石英管腔體中相 交錯,其中,載入碳化硅槳葉與石英管腔體載入端的載入傳動機構(gòu)相連接 并受其驅(qū)動,載出碳化硅槳葉與石英管腔體載出端的載出傳動機構(gòu)相連接 并受其驅(qū)動;所述載入傳動機構(gòu)和載出傳動機構(gòu)同控制系統(tǒng)相連接,由控 制系統(tǒng)控制載入和載出的時序。 關(guān)注公眾號馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海太陽能科技有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市莘莊工業(yè)區(qū)申南路555號 【專利權(quán)人類型】其他有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】9131011263168762XU 【被引證次數(shù)】14 【被他引次數(shù)】14.0 【家族被引證次數(shù)】14

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