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一種等離子體源

時(shí)間:2026-04-11    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型公開了一種等離子源,包括螺旋管、陰極與陽極,其中螺旋管兩端分別與陰極和陽極相連通,螺旋管為空心導(dǎo)體管制成,該中空導(dǎo)體螺旋管的內(nèi)部通水冷卻,其外表面被絕緣;在陽極、螺旋管和陰級(jí)之間設(shè)置直流電源,直流電源正極連通陽極,直流電源負(fù)極連通陰極。本實(shí)用新型等離源具有單端連接電源、大幅度自強(qiáng)化等離子體、等離子體純凈、電極中空輕便、螺旋管可直可彎、直徑和長度的調(diào)節(jié)范圍大和布局靈活等突出的特點(diǎn)。本實(shí)用新型等離子源可以在蒸發(fā)方式和低壓氣相沉積中應(yīng)用。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京實(shí)力源科技開發(fā)有限責(zé)任公司; 劉陽 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人,企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100070北京市豐臺(tái)區(qū)科學(xué)城郵局4分箱 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】豐臺(tái)區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620148974.5 【申請(qǐng)日】2006-11-08 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN200969335Y 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN200969335Y 【授權(quán)公告日】2007-10-31 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】H01J37/08; H01J37/32; H05H1/00 【發(fā)明人】劉陽 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種等離子源,包括螺旋管、陰極與陽極,其特征在于:在陰 極與陽極的電源通路中設(shè)置螺旋管,螺旋管為空心導(dǎo)體管制成,該中空 導(dǎo)體螺旋管的內(nèi)部通水冷卻,其外表面被絕緣;在陽極、螺旋管和陰級(jí) 之間設(shè)置直流電源,利用陰極與陽極之間的放電電流在流經(jīng)圍繞在其放 電通道周圍的螺旋管時(shí)產(chǎn)生空間電磁場(chǎng),約束帶電粒子和增強(qiáng)粒子的離 化,構(gòu)成一種新型等離子源。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京實(shí)力源科技開發(fā)有限責(zé)任公司; 劉陽 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市豐臺(tái)區(qū)科學(xué)城郵局4分箱; 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91110106633764772R 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】6 【他引次數(shù)】1.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】6

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