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AlNSiO2納米多層硬質(zhì)薄膜

時間:2026-04-08    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種AlN/SiO2納 米多層硬質(zhì)薄膜,屬于陶瓷薄膜領(lǐng)域。本發(fā)明由AlN層和 SiO2層交替沉積在金屬或陶瓷 基底上形成,AlN層的厚度為3~6nm, SiO2層厚為0.4~1.2nm。本發(fā)明 AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜具 有SiO2被晶化并與AlN形成共 格外延生長的超晶格柱狀晶的結(jié)構(gòu)特征。本發(fā)明的 AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜不 但具有優(yōu)良的高溫抗氧化性,而且具有較高的硬度;其硬度高 于28GPa。最高硬度可達32GPa。本發(fā)明作為高速切削刀具及 其它在高溫條件下服役耐磨工件的涂層,具有很高的應(yīng)用價 值。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610029135.6 【申請日】2006-07-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1887815A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100381402C 【授權(quán)公告日】2008-04-16 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號】C04B41/89; C23C16/34; C23C16/40 【發(fā)明人】李戈揚; 趙文濟; 孔明; 戴嘉維 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜,其特征在于,SiO2層(1)和AlN層(2) 形成在金屬或陶瓷基體(3)上,SiO2層(1)的厚度為0.4~1.2nm,AlN層(2)的 厚度為3~6nm,AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜的總厚度為2-4μm。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】5.0 【被引證次數(shù)】8 【他引次數(shù)】5.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】8

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    【摘要】本外觀設(shè)計產(chǎn)品是紡織物,省略后視圖; 單元圖案四方連續(xù),無限定邊界; 請求保護的外觀設(shè)計包含色彩?!緦@愋汀客庥^設(shè)計【申請人】上海題橋紡織染紗有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201114上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)立躍路519號【申

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    【摘要】來自:馬 克 團 隊本發(fā)明涉及一種生物工程領(lǐng)域的多種液體的自 動分配裝置,包括:吸液器,推液器,溶液樣本庫,反應(yīng)池, 多通連接頭,四通連接頭,塑料軟管,電磁夾,空氣過濾網(wǎng), 液體寄存腔。其中液體寄存腔有一個進氣口、一個進液口和一 個

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    【摘要】一種用于半導(dǎo)體制冷器快速加熱制冷系統(tǒng)的復(fù) 合溫度控制方法,屬于自動化技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明根據(jù)半導(dǎo)體制 冷器溫控對象的模型特性,在溫控系統(tǒng)中引入包括前饋、反饋 及Bang-Bang控制在內(nèi)的復(fù)合控制方法,控制初期采用Bang -Bang控

    發(fā)布時間:2026-04-08

    【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】上海捷準(zhǔn)工業(yè)自動化設(shè)備有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201103上海市虹梅路2069號A座4F【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】閔行區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630044026.2【申請

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