【摘要】本實用新型涉及一種硅片轉移裝置,其特征在于,可上下移動的托盤與托盤升降伺服機構連接,硅片疊層設于托盤上,至少一對硅片高度位置探測信號發(fā)送器、硅片高度位置探測信號接收器分別設于硅片疊層兩邊的同一水平線上,使得硅片疊層最上面的硅片的起始
【專利類型】外觀設計 【申請人】上海昆杰五金工具有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201108上海市閔行區(qū)華寧路3740弄198號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630034518.3 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3609932D 【公開公告日】2007-02-14 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3609932D 【授權公告日】2007-02-14 【授權公告年份】2007.0 【發(fā)明人】溫昊 【主權項內(nèi)容】無 【當前權利人】上海昆杰五金工具有限公司 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)華寧路3740弄198號 【專利權人類型】有限責任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310112132139936Y
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