【摘要】1.請求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含色彩。 2.后視圖與主視圖相同，省略后視圖。 3.右視圖與左視圖相同，省略右視圖?！緦＠愋汀客庥^設(shè)計(jì)【申請人】悠然得游樂設(shè)備(上海)有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】200030上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)中
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種硅片轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，可上下移動的托盤與托盤升降伺服機(jī)構(gòu)連接，硅片疊層設(shè)于托盤上，至少一對硅片高度位置探測信號發(fā)送器、硅片高度位置探測信號接收器分別設(shè)于硅片疊層兩邊的同一水平線上，使得硅片疊層最上面的硅片的起始高度低于硅片高度位置探測信號發(fā)送器、硅片高度位置探測信號接收器的高度，硅片高度位置探測信號發(fā)送器、硅片高度位置探測信號接收器分別與高度位置信號處理機(jī)構(gòu)連接，至少一對噴射氣流控制頭對稱設(shè)于最上面硅片和下面一片硅片的界面上，并高于一對硅片高度位置探測信號發(fā)送器、硅片高度位置探測信號接收器的位置，吸爪設(shè)于硅片疊層的上端。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是能提高生產(chǎn)效率，減少硅片破碎。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】上海交大泰陽綠色能源有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)劍川路951號滄源工業(yè)園內(nèi) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620048326.2 【申請日】2006-11-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200979877Y 【公開公告日】2007-11-21 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200979877Y 【授權(quán)公告日】2007-11-21 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/677; B65G49/07; H01L21/67 【發(fā)明人】郭里輝 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種硅片轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，由托盤(01)、硅片疊層(03)、噴射氣流 控制頭(04、05)、硅片高度位置探測信號發(fā)送器(08)、硅片高度位置探測 信號接收器(09)和吸爪(11)、高度位置信號處理機(jī)構(gòu)(12)和托盤升降伺 服機(jī)構(gòu)(13)組成，可上下移動的托盤(01)與托盤升降伺服機(jī)構(gòu)(13)連 接，硅片疊層(03)設(shè)于托盤(01)上，至少一對硅片高度位置探測信號發(fā) 送器(8)、硅片高度位置探測信號接收器(9)分別設(shè)于硅片疊層(3)兩邊 的同一水平線上，使得硅片疊層(03)最上面的硅片(02)的起始高度低于 硅片高度位置探測信號發(fā)送器(08)、硅片高度位置探測信號接收器(09)的 高度，硅片高度位置探測信號接收器(09)與高度位置信號處理機(jī)構(gòu)(12) 連接，至少一對噴射氣流控制頭(04、05)對稱設(shè)于最上面硅片02和下面一 片硅片的界面上，并高于一對硅片高度位置探測信號發(fā)送器(08)、硅片高度 位置探測信號接收器(09)的位置，吸爪(11)設(shè)于硅片疊層(03)的上端。 （來自 馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)） 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交大泰陽綠色能源有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)劍川路951號滄源工業(yè)園內(nèi) 【被引證次數(shù)】11 【被他引次數(shù)】11.0 【家族被引證次數(shù)】11
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