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一種掃描式離子槍

時間:2026-04-07    作者:admin 點擊: ( 3 ) 次

【摘要】 本實用新型公開了一種掃描式離子槍,包括放電 室,置于放電室內(nèi)的柵極組件以及圍繞放電室的會聚磁場裝 置,其中,柵極組件由中心均有圓孔的源極、柵極和加速極絕 緣構(gòu)成,會聚磁場覆蓋源極和柵極,其特征在于:放電室的位 于加速極一側(cè)的端口設(shè)有掃描磁場裝置。該掃描式離子槍通過 磁場裝置使將離子束在X-Y方向上掃描的方式,實現(xiàn)了大面 積的均勻的薄膜蝕刻。并且具有結(jié)構(gòu)簡單,制造成本低廉的優(yōu) 點。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海市七寶中學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】201101上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)七中路1號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620040265.5 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2879416Y 【公開公告日】2007-03-14 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2879416Y 【授權(quán)公告日】2007-03-14 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】劉陽旸 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種掃描式離子槍,包括放電室,置于放電室內(nèi)的柵極組件以及圍繞 放電室的會聚磁場裝置,其中,柵極組件由中心均有圓孔的源極、柵極和加 速極構(gòu)成,會聚磁場覆蓋源極和柵極,其特征在于:放電室的位于加速極一 側(cè)的端口設(shè)有掃描磁場裝置。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海市七寶中學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)七中路1號 【統(tǒng)一社會信用代碼】123101124250473143 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2

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    發(fā)布時間:2026-04-07

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    發(fā)布時間:2026-04-07

    【摘要】1.申請人請求保護的是枕套,枕套系平面產(chǎn)品,省略其它視圖。 2.請求保護的外觀設(shè)計包含有色彩。來自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng)【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】上海嘉安床上用品有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201106上海市閔行區(qū)北翟

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    【摘要】一種微裂狀態(tài)混凝土自然滲透測試儀,屬于測試 技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括:水頭測試管、頂板、頂部圓環(huán)水箱、 底部圓環(huán)水箱、底板、螺母、螺桿,頂板頂部與水頭測試管膠 接,頂板底部與圓環(huán)水箱膠接,底板與底部圓環(huán)水箱膠接,這 兩部分的圓環(huán)相對,并

    發(fā)布時間:2026-04-07

    【摘要】1.本外觀設(shè)計是紡織物,省略后視圖; 2.單元圖案四方連續(xù),無限定邊界; 3.請求保護的外觀設(shè)計包含色彩?!緦@愋汀客庥^設(shè)計【申請人】上海題橋紡織染紗有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201114上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)立躍路51

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